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  • 项目名称：SEM场发射扫描电镜测试

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项目介绍：

可测试样品的表面形貌、EDS能谱、EBSD，等；

具有背散射探测器、二次电子探测器，等；

倍数高达：100万倍，放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变

化自动校正、补偿、预设功能；

二次电子像分辨率：≤0.8nm ( 15 kV)，≤1.0 nm ( 1 kV )；

加速电压：0.1kV ～ 30kV连续可调；

可以喷金、喷铂、喷碳、液氮脆断、超声分散等各种制样。